측정장비

Mitutoyo MF-U

편광 관찰:

한 방향으로 진동하는 여과광만을 관찰. 광물 및 액정과 같은 특수한 광학 특성을 가지는 소재를 관찰하는 데에 사용된다.

차동 간섭 콘트라스트(DIC) 관찰:

금속, 액정 및 반도체의 표면에 있는 미세한 스크래치 및 자국을 효율적으로 관찰

암시야(DF) 관찰:

대물렌즈로 직접 투사 되는 빛을 차단하고 분산된 빛만을 관찰. 명시야로 관찰하기 힘든 스크래치 및 먼지를 높은 콘트라스트로 관찰 가능

명시야(BF) 관찰:

가장 일반적인 관찰 방법. 측정물 표면에서 반사된 광을 직접 관찰하기

테크니컬 데이터

관측이미지	정립상
경통(옵션)	Siedentoph 타입 (퓨필 거리 조정: 51 - 76mm), 1X 튜브 렌즈, 쌍안 튜브 (오목: 30º), 레티클 투과 방법, TV 마운트 포함, 옵티컬 패스 비율 (접안 렌즈/TV 장착: 50/50)
접안 렌즈(옵션)	10X 옵션 : 15X, 20X
레볼버(옵션)	수동 또는 파워 터릿
대물 렌즈(옵션)	1X-100X의 M/BD Plan Apo 대물
윤곽 조명	광원 : 할로겐 전구 (12v, 50w) 광학 시스템 : 조정식 구경 조리개가 장착된 텔레센트릭 조명 기능 : 조명 세기 조정 가능, 논스텝 밝기 조정
표면 조명	광원 : 옵션 할로겐 조명 유니트 (화이바 광학 콜드 라이트 조명) 광학 시스템 : 조정식 구경 조리개가 장착된 Koehler 조명 기능 : 조명 세기 조정 가능, 논스텝 밝기 조정
디스클레이 유니트	축 번호 : 2축 또는 3축 분해능 : 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
공급전원	100/110/120/220/240v AC, 50/60hz
무게	65.5kg (505B, 1010B) 69.5kg (2010B) 130kg (2017B) 138kg (3017B) 144kg (4020B)

사양

모델 번호	505B	1010B	2010B	2017B	3017B	4020B
XY 스테이지 이동 범위	50 x 50mm	100 x 100mm	200 x 100mm	200 x 170mm	300 x 170mm	400 x 200mm
Z축 이동 범위	150mm	150mm	150mm	220mm	220mm	220mm
초점 방식	수동 포커싱(조동 포커싱:100mm/회전, 미세 포커싱:0.1mm/회전)
측정 방식	리니어 엔코더(2축 모델:X/Y축, 3축 모델:X/Y/Z축)
분해능(변환가능)	0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
측정정도	XY축 (2.5+0.02L)um, L=측정 길이(mm) 무하중 시, JIS B 7153
표시정도	Z축 : (5+0.04L)um, L=측정 길이(mm)
부유기능	퀵 릴리스 기구가 장착된 X 및 Y축
XY 스테이지 탑 사이즈	280 x 280mm	280 x 280mm	350 x 280mm	410 x 342mm	510 x 342mm	610 x 342mm
유효 글래스 크기	180 x 180mm	180 x 180mm	250 x 150mm	270 x 240mm	370 x 240mm	440 x 240mm
스위벨링 기능	-	-	-	±5˚(좌측)	±5˚(좌측)	±3˚(좌측)
최대 측정물 무게	10kg	10kg	10kg	20kg	20kg	15kg
최대 측정물 높이	150mm	150mm	150mm	220mm	220mm	220mm

치수

단위(mm)